| Leader mondial
– avec plus de 80 % de part de marché – du SOI
(silicium sur isolant), technologie clé dans la fabrication
des semi-conducteurs, Soitec
annonce la mise au point d’un silicium contraint sur isolant
(sSOI) sans germanium. Plus facile à utiliser par les industriels,
ce matériau, adapté à l’architecture
actuelle des microprocesseurs, permet une augmentation de la vitesse
des électrons de 80 % et favorise donc une augmentation très
sensible des performances sans aucun changement dans les procédés
de fabrication.
Le nouveau
produit de Soitec offre une couche épaisse de silicium de
40 nanomètres aux excellentes caractéristiques électroniques
et cristallines sans recourir au germanium. Les tests montrent que
la contrainte peut être maintenue à travers les différents
procédés thermiques à haute température
utilisés dans le cycle de fabrication des microprocesseurs.
Fondée sur le procédé Smart Cut du CEA-Léti,
cette technologie a été étudiée, en
matière d’épitaxie, en partenariat avec l’équipementier
ASM International. Les recherches ont permis d’obtenir une
couche épitaxiale de haut niveau de qualité qui repousse
les limites du silicium contraint sur isolant au-delà des
couches ultra-fines. Cette solution, évaluée par Soitec
et ses clients, permet de répondre aux demandes des clients
industriels pour les technologies de 65 nanomètres et au-delà.
Le passage en production est prévu au deuxième semestre
de 2005.
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