Des composants en graphène suspendu à la PTA

Malgré sa structure bidimensionnelle, le graphène ne se prête pas si facilement à la fabrication de composants MEMS et NEMS par les techniques usuelles de la microélectronique. Une doctorante de l’IMEP-LAHC a relevé ce défi en réalisant des ponts de graphène de dimension contrôlée, parfaitement suspendus et contactés électriquement grâce à des procédés utilisables sur de grandes surfaces.
Le rendement du procédé dépasse les 90 %. Pour ce faire, il a fallu notamment maîtriser l’élimination des résidus carbonés de la résine utilisée pour le report, et les problèmes de collage lors de la libération des ponts de graphène.
A terme, ces structures suspendues pourraient être utilisées dans des capteurs de déformation, de masse ou de vibration. Une publication est en préparation.
 

Contact : mouis@minatec.inpg.fr

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