Le CIME Nanotech renouvelle son parc PVD

Le CIME Nanotech s’est doté d’un nouvel équipement de dépôt physique en phase vapeur (PVD). Il est utilisé dans le cadre de programmes de formation en microélectronique, photovoltaïque et spintronique, ainsi qu’en support aux activités de recherche des laboratoires académiques.

Il permet de déposer des couches minces sur des plaquettes de silicium de 4 pouces de diamètre ou sur des échantillons plus petits. Principale particularité : il compte deux chambres, l’une dédiée aux dépôts de métaux et l’autre aux matériaux diélectriques et magnétiques. Ainsi, les contaminations croisées sont limitées.

Autre atout de cet équipement : une des chambres possède une arrivée d’oxygène pour réaliser des dépôts oxydés.

Contact : delphine.constantin@grenoble-inp.fr

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