Médaille de bronze du CNRS pour une chercheuse du LTM

Après Olivier Joubert, son directeur, le LTM compte un deuxième chercheur médaillé du CNRS : Erwine Pargon a reçu la médaille de bronze pour ses travaux sur le traitement des rugosités des motifs de résine, après l’étape de lithographie 193 nm, sur les circuits CMOS sub 32 nm.
Jusqu’ici, ces rugosités sont excessives et la jeune chercheuse a utilisé de multiples outils de diagnostic (Microscopie électronique, microscopie à force atomique 3 D…) pour les caractériser et mettre au point un traitement plasma qui les efface avant l’étape de gravure.
Ses travaux ont donné lieu à 27 publications. Erwine Pargon, qui a obtenu sa thèse en 2004 au LTM, a travaillé pendant un an à l’université de Berkeley avant de revenir à son laboratoire d’origine.
 
Contact : jumana.boussey@cea.fr

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