MEMS et NEMS : une solution pour libérer plus vite la partie mobile

Des chercheurs du Leti ont développé un simulateur pour valider le placement et la taille des « trous de libération » des MEMS et NEMS. Ils réduisent significativement la durée d’une étape critique du process et améliorent le rendement de production.
Après fabrication des structures suspendues des MEMS et NEMS, les trous de libération servent à soustraire par gravure le matériau sacrificiel qui a supporté les structures. Avec les techniques manuelles d’aujourd’hui, les erreurs et imprécisions de placement des trous empêchent parfois d’éliminer la totalité de ce matériau.
Le simulateur, basé sur un vérificateur de règles de dessin informatisé, fournit aux concepteurs une image prédictive des zones résiduelles du matériau sacrificiel. Un premier pas vers d’autres fonctions comme le placement automatique des trous.

Contact : marjorie.gary@cea.fr

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