Microlasers sur plaques 200 mm : une première mondial

Fabriquer des microlasers et des photodétecteurs en matériau III-V sur des plaques 200 mm, avec les technologies microélectroniques, c’est possible : le Léti l’a démontré en fabriquant ce printemps des microdisques en phosphure d’indium de 10 microns de diamètre dont l’émission laser est de qualité suffisante (pic centré à 1 528 nm, niveau de suppression des autres modes 30 dB) pour être transportée via un guide silicium vers un photodétecteur.

Cette première mondiale ouvre une perspective majeure : la réalisation de transmetteurs intégrés pour le transfert de données optiques à haut débit entre des coeurs de microprocesseurs. Elle a été réalisée en collaboration avec l’IMEC, STMicroelectronics et l’Institut des nanotechnologies de Lyon (INL).

Contact : jean-marc.fedeli@cea.fr

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