Six capteurs de mouvement sur 4 mm2 de silicium

Tronics a présenté récemment un concept de MEMS révolutionnaire inventé par le Leti. Il permet de concentrer sur 4 mm2 de silicium pas moins de 3 accéléromètres et 3 gyromètres. Sans équivalent au monde, ce dispositif ultra-compact vise le marché du téléphone portable, pour le jeu et pour le passage du mode portrait au mode paysage.
La détection du mouvement est effectuée par un nanofil suspendu de silicium piézorésistif, environ 100 fois plus petit que la poutre de silicium utilisée jusqu’ici. Une quinzaine de brevets ont été déposés.
Le signal est fortement amplifié, la consommation électrique très faible. Ce nouveau principe de détection est également applicable à des capteurs de pression, magnétomètres, microphones, etc. qui peuvent être intégrés sur la puce grâce à un procédé 100 % silicium.

Contact : jean-philippe.polizzi@cea.fr

Facebook

Twitter