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[Thèse]

Relais M/NEM pour composants logiques et mémoires durcis aux radiations

Offre N° : SL-DRT-16-0423

Date de début : 1 Oct 2016

L'utilisation de relais Nano-Electro-Mécaniques (NEM) pour les circuits logiques a été récemment proposée afin de contourner une limite fondamentale d'efficacité en énergie de la technologie CMOS. Le courant nul à l'état bloqué des relais NEM ainsi que leur commutation extrêmement abrupte permettent en effet de s'affranchir efficacement d'un compromis médiocre en termes de consommation de puissance active et passive lorsque l'on fait décroître la tension d'alimentation VDD.



[Thèse]

Développement et compréhension de procédés gravure isotrope de Silicium sélectivement au silicium Germanium pour des applications CMOS sub 10nm.

Offre N° : SL-DRT-16-0286

Date de début : 1 Oct 2016

Les technologies les plus avancées du CMOS (sub 10nm) proposent des architectures innovantes de type Nanofils où l'intégration de nouveaux matériaux semiconducteur comme le SiGe hétéroépitaxié sur silicium devient incontournable en raison de ses propriétés de mobilités supérieures au Si pour les porteurs de charges. La couche de SiGe épitaxiée est utilisée notamment pour la formation du canal conducteur du transistor et doit se réaliser par retrait sélectif du Si versus le SiGe.



[Thèse]

Capteur MEMS inertiel hautes performances à transduction optique sur silicium

Offre N° : SL-DRT-16-0246

Date de début : 1 Oct 2016

Le laboratoire capteurs MEMS du CEA LETI développe des solutions technologiques permettant d'améliorer les performances, et/ou de diminuer la taille et le coût de capteurs inertiels (accéléromètres, gyromètres, magnétomètres) pour les marchés consumers (smartphones, tablettes…) ou à haute valeur ajoutée (aéronautique, spatial…). Des développements sont en cours pour passer d'une détection électrique du mouvement mécanique des capteurs MEMS à une transduction photonique.



[Thèse]

Développement d'un nouveau mode de transduction à base de nanofils suspendus utilisant les phénomènes de back-action pour des applications des capteurs MEMS

Offre N° : SL-DRT-16-0214

Date de début : 1 Oct 2016

Contexte: La détection par nanofil pour les NEMS ou M&NEMS offre de nombreux avantages: grande sensibilité, forte intégration, insensible aux capacités parasites... Les performances de ces capteurs, actuellement comparables aux capteurs capacitifs, pourraient être fortement améliorées par une utilisation optimisée de ses nano-jauges qui conduirait à terme à une différenciation importante par rapport à l'état de l'art et en particulier pour les gyromètres.



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