IMEP-LAHC s’équipe d’une station de test sous pointes

Depuis la mi-avril, l’IMEP-LAHC est l’heureux propriétaire d’une station sous pointes permettant de tester électriquement des puces sur des plaques de 300 mm maximum. Cet équipement de dernière génération couplé à un puissant analyseur permet la mesure de très faibles courants (< 1fA) et faibles capacités (quelques fF). Il fonctionne en automatique, permettant ainsi d’établir des cartographies de plaques et des moyennes de performances. Il est doté d’une caméra multi-fenêtrage qui offre la possibilité de zoomer simultanément sur chacune des cinq pointes de test, pour une pose rapide et sans risque. La station a été installée dans une salle dédiée du BCAi. Elle sera utilisée en routine, principalement pour la recherche, à partir de septembre.

Contact : mescot@minatec.inpg.fr

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