Le CEA-Leti prend la main sur ses contacts 300 mm

Le CEA-Leti poursuit la montée en puissance de ses équipements 300 mm. Il est désormais capable de fabriquer sur ses moyens propres les contacts ohmiques de faible résistance qui relient la partie active de ses circuits à leurs connexions (back-end). De plus, ces contacts affichent des valeurs de résistance voisines de celles des industriels. De quoi crédibiliser les projets de R&D menés avec les acteurs du semiconducteur.

Ce résultat est le fruit de deux ans de travail. Il se concrétise par la réalisation d’un jeu de masques – un investissement d’environ 50 000 euros – et la création d’un process de production bien stabilisé. Le CEA-Leti, qui confiait à STMicroelectronics certaines étapes de fabrication de ses contacts 300 mm, peut désormais les réaliser seul et réduire les délais de ses projets.

Contact : sophie.guillemin@cea.fr

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