Le tour de la TEM en 264 pages

Cinq auteurs du Leti et de STMicroelectronics ont participé à la rédaction de Transmission Electron Microscopy in Micro-nanoelectronics, un ouvrage collectif qui présente le foisonnement de méthodes – éprouvées ou émergentes – issues de cette technique.
La microscopie électronique en transmission, très utilisée à Grenoble, étudie les défauts cristallins à l’échelle nanométrique et établit des cartographies de contraintes. Elle se renouvelle en permanence, par exemple avec l’apparition de l’holographie (faisceau d’électrons déboublé) ou de nouveaux modes d’exploitation des données. Le livre, édité par ISTE-Wiley, est publié dans une série « Nanosciences et nanotechnologies » dont Mireille Mouis, de l’IMEP-LAHC, est co-éditrice.

Contact : mouis@minatec.inpg.fr

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