Matériaux hétérogènes : combiner analyse morphologique et chimique 3D

Une équipe Leti de la PFNC* a combiné deux méthodes de caractérisation 3D, la tomographie X et le ToF-SIMS, pour analyser la morphologie et la chimie d’échantillons très hétérogènes : interconnexions pour microprocesseurs, électrodes de batteries lithium-ion, électrolyseurs de piles à combustible. Ceci pour expliquer des processus de diffusion de matériaux, de dégradation ou de vieillissement, à des échelles entre 100 nm et 100 microns.
La méthode s’appuie sur deux techniques à l’état de l’art en résolution spatiale et en sensibilité. Elle suppose un important travail de recalage 3D du double jeu de données. Elle peut être étendue à d’autres échantillons, par exemple des matériaux organiques ou des dendrites.

* Plateforme de nanocaractérisation

Contacts : pierre.bleuet@cea.fr ; jean-paul.barnes@cea.fr

Facebook

Twitter