Offres de Thèses, Stages et Post-docs

nombre d'offres : 1

Amélioration des performances des nano-jauges en silicium pour des capteurs MEMS

Mail Sélection

Date de début : 1 octobre 2018

Offre n° SL-DRT-18-0781

La piézorésistivité des nanojauges en silicium est à la base de nombreux capteurs MEMS du CEA-Léti : accéléromètres, capteurs de pression, capteurs et analyses de gaz, … et les performances de ces capteurs sont directement conditionnées par les performances des nanojauges. Dans le cadre de cette thèse, l’étudiant aura pour mission de mener un travail de recherche afin d’optimiser les performances des nanojauges en fonction des principaux paramètres en relation avec leur fabrication: substrats SOI, dopage, méthode d’implantation, géométrie, libération (permettant de mettre la nanojauge en suspension) et passivations après libération…

En particulier, le doctorant étudiera le bruit basses fréquences des nanojauges réalisées sur substrats SOI : il caractérisera diverses variantes de nanojauges, cherchera à comprendre les mécanismes à l’origine du bruit basses fréquences dans les nanojauges et fera les simulations nécessaires pour conforter les hypothèses expliquant les fluctuations électriques des nanojauges.

La contrainte mécanique maximale acceptable par les nanojauges et la zone de linéarité de leur piézorésistivité seront aussi à étudier, et une étude thermique devra être conduite pour déterminer le courant maximal utilisable pour la mesure piézorésistive.

Ces études devront permettre, en fin de thèse, de proposer de nouvelles nanojauges plus performantes, ainsi que leur procédé de fabrication. L’intégration de ce procédé sera étudiée pour permettre la réalisation d’un capteur complet basé sur cette transduction piézorésistive optimisée.

  • Mots clés : Sciences pour l'ingénieur, Electronique et microélectronique - Optoélectronique, Instrumentation, DCOS, Leti
  • Laboratoire : DCOS / Leti
  • Code CEA : SL-DRT-18-0781
  • Contact : antoine.nowodzinski@cea.fr
En naviguant sur notre site, vous acceptez que des cookies soient utilisés pour vous proposer des contenus et services adaptés à vos centres d’intérêts. En savoir plus
X