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nombre d'offres : 1

Modélisation/caractérisation mécanique et triboélectrique du procédé de nanoimpression en interfaces souples

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Date de début : 1 octobre 2019

Offre n° SL-DRT-19-0977

Les moules souples utilisés en lithographie par nanoimpression permettent de réduire l’impact d’une particule sur la défectivité d’une étape de patterning : sa souplesse permet d’épouser la forme des défauts sans impacter les structures environnantes. Cette souplesse est aujourd’hui obtenue en utilisant des matériaux polymères mono-matériau ou composites qui ont la capacité de reproduire des motifs ayant des dimensions critiques de quelques dizaines de nanomètres. Les technologies les plus récentes de matériaux permettent de passer d’un état visqueux (et donc capable de s’écouler dans des nanostructures) à température ambiante à un état de solide élastique par photo-polymérisation à 365 nm avec des propriétés antiadhésives nécessaires au bon fonctionnement du procédé. Cet état élastique est fondamental pour les performances de réplications : le matériaux doit avoir suffisamment de rigidité pour ne pas flamber ou se déformer de façon irréversible lors du procédé, mais il doit avoir assez de souplesse pour pouvoir être démoulé de la résine à imprimer sans endommager les motifs créés dans cette dernière. Néanmoins l’utilisation de ces moules souples renforce l’apparition de charges électrostatiques lors de la séparation du moule et du substrat. Ces charges sont usuellement dissipées macroscopiquement grâce à des barres antistatiques ou jets d’air ionisés, mais elles peuvent persister sur l’extrême surface du moule souple et engendrer la déformation des structures. L’objectif de cette thèse est d’étudier via des mesures par AFM le comportement de ces interfaces.

  • Mots clés : Physique de l'état condensé, chimie et nanosciences, Sciences pour l'ingénieur, Métrologie, Physique du solide, surfaces et interfaces, DTSI, Leti
  • Laboratoire : DTSI / Leti
  • Code CEA : SL-DRT-19-0977
  • Contact : hubert.teyssedre@cea.fr
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