Offres de Thèses, Stages et Post-docs

nombre d'offres : 1

Conception et fabrication de transducteurs ultrasonores en technologies silicium

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Date de début : 1 février 2018

Offre n° PsD-DRT-18-0030

Les transducteurs ultrasonores piézoélectriques (pMUT) suscitent un engouement particulier ces dernières années, en raison des possibilités d’intégration de ces capteurs dans les smartphones, les tablettes et les objets connectés. Le développement technologique de ces MEMS nécessitent un bon contrôle des matériaux piézoélectriques déposés lors des premières étapes de fabrication (AlN, PZT, …). En particulier, la contrainte résiduelle des différentes couches joue un rôle important pour déterminer la fréquence de résonance et les champs de déplacement des dispositifs. Le contrôle et la détermination fine des contraintes (valeur moyenne, distribution radiale, gradient) est crucial pour la qualité et la reproductibilité des couches piézoélectriques.

Le post-doc développera des modèles adéquats pour déterminer les contraintes dans des couches piézoélectriques, à partir de mesures de déformation sur des plaques entières ou sur des structures mobiles. Il effectuera également la conception et la caractérisation mécanique de pMUT afin de relier les performances des dispositifs aux mesures de contraintes établies précédemment. Il étudiera comment l’intégration de telles couches dans un process flow complexe modifie la contrainte résiduelle. Ceci permettra de comparer les performances de pMUT réalisés suivant des process flow différents.

  • Mots clés : Physique de l'état condensé, chimie et nanosciences, Sciences pour l'ingénieur, Matériaux et applications, Physique du solide, surfaces et interfaces, DCOS, Leti
  • Laboratoire : DCOS / Leti
  • Code CEA : PsD-DRT-18-0030
  • Contact : bruno.fain@cea.fr
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