Salle blanche 300 mm : de nouveaux équipements en 2015

Depuis l’ouverture de sa troisième extension cet été, la salle blanche du bâtiment 41.02, dédiée aux activités de microélectronique 300 mm, offre une superficie globale de 2 200 m2. Le nouvel espace de 500 m2 qui vient d’être ouvert permettra d’accueillir de nouveaux équipements pour la fabrication de composants microélectroniques (dépôt, gravure de couches minces, etc.).
Le CEA-Leti instruit en ce moment les dossiers de commande en vue d’installer les premiers équipements de cette salle et de les mettre en activité courant 2015. On notera que l’activité de la salle blanche du 41.02 n’a jamais connu d’interruption. Ceci malgré l’ampleur des travaux de déconstruction puis de construction de l’extension : renforcement de la charpente métallique, nouveau plenum de soufflage, pose des recycleurs en façade du bâtiment…

Contact : olivier.demolliens@cea.fr

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