Actionneurs piézoélectriques transparents pour l’haptique

Publié le : 8 février 2020

La technologie haptique (science du toucher) est en plein essor et suscite de plus en plus d’intérêt de la part d’industriels dans les domaines de la téléphonie ou de l’automobile. Des actionneurs piézoélectriques sont utilisés pour générer des vibrations au niveau d’une surface tactile afin de produire un retour haptique, permettant ainsi de faciliter (voire augmenter!) les interactions entre l’utilisateur et son environnement. Certaines surfaces tactiles, telles que la dalle de téléphone, l’écran de tableau de bord ou une vitre, requièrent idéalement l’utilisation d’actionneurs transparents. Or, les actionneurs piézoélectriques en couches minces sont quasi systématiquement déposés sur substrat silicium et intègrent des couches non transparentes (électrodes, …). Des contraintes technologiques fortes, telles que la température de cristallisation du matériau piézoélectrique (env. 700°C pour le PZT), rendent le dépôt en couches minces d’empilements piézoélectriques transparents sur verre particulièrement complexe, voire impossible. Le LETI a récemment développé une technologie innovante permettant de transférer une ou plusieurs couche(s), par exemple le PZT, depuis un substrat de croissance silicium sur un substrat d’accueil tel que le verre (plusieurs brevets).

L’objectif de cette thèse sera de concevoir et réaliser des actionneurs piézoélectriques transparents sur substrat verre pour une application haptique. Un état de l’art sur le sujet permettra d’établir les spécifications visées pour le dispositif choisi. En s’appuyant sur les connaissances et expertises disponibles au LETI, le doctorant travaillera sur l’intégration des matériaux (piézoélectrique, électrodes, etc…) permettant notamment d’obtenir un empilement fonctionnel avec la transparence requise, ainsi que sur la conception et la réalisation des actionneurs et leurs caractérisations.

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