Caractérisation des effets microstructuraux liés au smartcut du SiC

Publié le : 14 mars 2021

L’industrie automobile, et plus particulièrement le marché des véhicules électriques, requiert des composants SiC plus performants et plus robustes que leurs équivalents en Si. Cependant, les substrats SiC sont aujourd’hui encore très chers et leur approvisionnement se heurte à une dépendance vis à vis d’un monopole américain et asiatique. L’objectif de la thèse s’intègre dans la fabrication d’un substrat SiC ne comportant qu’une fine couche de SiC de très bonne qualité reportée par la technologie Smart Cut™ sur un substrat moins cher et de moindre qualité, typiquement du polySiC. Elle a pour objectifs :

– Approfondir la compréhension des phénomènes de surface du SiC en fonction du traitement thermique. Cette étude reposera sur des tests de recuits couplés à des analyses de surface (AFM, PEEM, Raman, XPS). Elle permettra de déterminer les mécanismes de reconstruction de la surface du SiC et le rôle de la présence du graphène. Des solutions seront proposées et évaluées afin de limiter la modification topologique de la surface en température.

– Comprendre la nature des défauts SiC dus au Smart-Cut et leur impact sur les propriétés électriques et thermiques. La détermination des défauts reposera sur des analyses physico-chimiques telles que la photoluminescence, la cathodoluminescence, …. Des analyses chimiques à base de KOH pourront être employées afin de révéler les défauts à plus large échelle.

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