Diodes verticales suspendues pour la détection LWIR

Publié le : 8 février 2020

Les détecteurs thermiques non refroidis absorbent le flux infrarouge pour des longueurs d’onde de 7µm à 14µm. Cette bande spectrale correspond à une fenêtre de transmission atmosphérique et au maximum d’émission d’un corps noir à 300K, ce qui permet de mesurer des variations de température inférieures à 100mK dans la scène imagée. Le principe de fonctionnement des microbolomètres repose sur la mesure de température d’une membrane suspendue absorbant le flux infrarouge. Le transducteur thermique est l’élément sensible du microbolomètre qui détermine son rapport signal sur bruit et donc la performance du pixel bolométrique. Ces dernières années, la miniaturisation des technologies de microbolomètres a permis d’atteindre des tailles de pixels de 12µm et s’est accompagnée d’une réduction du cout de fabrication. Cependant la technologie actuelle atteint ses limites et permet difficilement de réduire la taille du pixel.

L’objet de la thèse est l’étude d’une technologie en rupture pour la fabrication des microbolomètres. Contrairement aux filières classiques, qui utilisent des thermsistors pour la transduction thermique, on se propose d’évaluer une filière originale à base de diodes verticales suspendues. Le sujet portera sur la caractérisation et la modélisation des performances d’un tel dispositif.

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