Etude de diodes SOI verticales pour la détection LWIR

Publié le : 14 mars 2021

Les détecteurs thermiques non refroidis absorbent le flux infrarouge pour des longueurs d’onde de 7µm à 14µm. Cette bande spectrale correspond à une fenêtre de transmission atmosphérique et au maximum d’émission d’un corps noir à 300K, ce qui permet de mesurer des variations de température inférieures à 100mK dans la scène imagée. Le principe de fonctionnement des microbolomètres repose sur la mesure de température d’une membrane suspendue absorbant le flux infrarouge. Le transducteur thermique est l’élément sensible du microbolomètre qui détermine son rapport signal sur bruit et donc la performance du pixel bolométrique. La majorité des microbolomètres commerciaux utilisent une thermistance à base de silicium amorphe ou d’oxyde de vanadium pour son coefficient de température élevé (TCR=2-4%/K) et son faible bruit basse fréquence (bruit 1/f).

L’objet de la thèse est l’étude d’une technologie en rupture pour la fabrication des microbolomètres. Contrairement aux filières classiques à thermistances, on se propose d’évaluer un transducteur thermique à base de diodes SOI verticales, qui permettra d’améliorer significativement la qualité d’image des détecteurs LWIR. Le sujet portera sur la caractérisation et la modélisation des performances d’un tel dispositif.

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