Un capteur chimique miniaturisé intégré sur silicium

Une équipe Leti a réussi l’exploit d’intégrer sur silicium un capteur chimique haute performance. Les lasers à cascade quantique, la cellule photo-acoustique et le circuit photonique tiennent dans moins d’un cm³, alors que cet ensemble occupait au départ un volume d’un litre. Les lasers émettent dans l’infrarouge moyen et peuvent détecter ainsi de très nombreux gaz. Le capteur, assez compact pour être incorporé dans un smartphone, vise aussi le secteur médical et le marché de l’environnement.

Les travaux se poursuivent, notamment pour placer plus de sources optiques dans le même volume et élargir les capacités de détection. Quelques préséries ont été fabriquées. Le Leti, qui a déposé deux brevets, collabore avec la start-up MirSense et cherche des partenaires pour couvrir d’autres applications.

Contact : sergio.nicoletti@cea.fr

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