Un usineur ionique au CIME Nanotech

Le CIME Nanotech a récemment mis en service dans sa salle blanche un usineur ionique SCIA. Cet équipement dont le coût avoisine les 500 000 euros a été financé à 50% par l’IRT Nanoelec. Utilisé en formation et en R&D, il est doté d’un spectromètre Hidden pour suivre, contrôler et identifier l’élément en cours de gravure des échantillons multicouches.

La source d’ions, formant un faisceau de 218mm de diamètre, grave des matériaux magnétiques pour les MRAM, des métaux pour la réalisation de contacts, des piézoélectriques, des oxydes. Son porte-échantillon, accueillant des substrats jusqu’à 150 mm de diamètre, peut être mis en rotation et incliné, notamment pour éviter le dépôt de particules sur le substrat.

Contact : delphine.constantin@grenoble-inp.fr

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