Caractérisation XPS : sans oxydation, c’est mieux

La FMNT dispose depuis 2006 d’un outil de spectroscopie de photoélectrons (XPS), pour la caractérisation physico-chimique de surfaces sur quelques nanomètres d’épaisseur. Il vient d’être « customisé » afin d’analyser des wafers ou des échantillons venus d’équipements de procédés physiquement éloignés, dans des conditions voisines de l’analyse in situ.

Le transfert est réalisé dans des boîtes mobiles qui assurent le maintien sous vide, jusqu’à une chambre de chargement robotisée rajoutée à la plate-forme XPS. On évite ainsi les phénomènes d’oxydation à l’air qui, d’habitude, transforment la surface et biaisent l’observation.
Ce dispositif unique au monde, destiné à la recherche amont sur les procédés industriels, a été testé avec succès sur des matériaux extrêmement sensibles à l’air.

Contact : bernard.pelissier@cea.fr

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