MEMS : vers une filière générique

Pas facile d’étendre les applications des MEMS quand chaque nouveau composant requiert une filière de fabrication sur mesure ! Aussi, un laboratoire du Léti a développé des briques de base adaptées et une filière générique pour réaliser des composants variés avec typiquement une centaine d’étapes technologiques. Le premier démonstrateur, un transducteur ultra-sonore, a été présenté l’automne dernier. Une étude sur des composants acoustiques novateurs vient de débuter.

La filière, baptisée MEMSBOND, devrait permettre de fabriquer des gyromètres, des accéléromètres, des capteurs de pression… ; mais aussi d’intégrer des composants CMOS, de faire des reprises de contacts en face arrière, de réaliser des packagings intégrés etc. Seules des demandes très spécifiques ne peuvent encore être prises en compte.

Contact : jean-sebastien.danel@cea.fr

Facebook

Twitter