Dépôt de couche atomique en phase liquide : le LMGP avance

Invité dans le cadre d’une chaire d’excellence de la fondation Nanosciences , le Professeur Josep Puigmartí-Luis* (université de Barcelone) travaille actuellement avec l’équipe du LMGP.  Aux côtés des chercheurs grenoblois spécialisés dans le domaine du dépôt de couche atomique, cet expert en microfluidique appliquée à l’ALD cherche à faire avancer un procédé innovant en phase liquide (LALD). Cette technique, qui permet d’atteindre la conformité et le contrôle de l’épaisseur sub-nanométrique, n’est pas contrainte aux mêmes conditions de vide que l’ALD, ce qui étendrait ses possibilités.
L’objectif actuel est donc d’explorer les stratégies envisageables pour que ce dépôt de couche atomique en phase liquide soit automatisé et compatible avec différents types de substrats.

*Sa conférence en anglais au Midi MINATEC du 15 octobre : https://www.youtube.com/watch?v=ntGNzqkukl4

Contact : david.munoz-rojas@grenoble-inp.fr