Des condensateurs intégrés à l’état de l’art mondial

Les derniers condensateurs intégrés sur silicium de la société IPDiA, développés avec le Leti dans le cadre d’un laboratoire commun et d’un projet financé par OSEO, fixent un nouvel état de l’art en termes de densité de capacité : 550 nF/mm2. Ils sont en cours de transfert chez l’industriel.
Ce dernier est indépendant des grands fondeurs et compte exploiter le gain de performance et d’encombrement permis par cette technologie dans plusieurs applications à haute valeur ajoutée : éclairage, médical…
Clé de l’innovation : un nouveau matériau à forte constante diélectrique qui est mis en œuvre par dépôt de couches minces atomiques (ALD), avec un excellent contrôle des épaisseurs. A ce jour, les condensateurs du marché ne dépassent pas 250 nF/mm2 et les meilleurs résultats publiés étaient à 400 nF/mm2.
 

Contact : aude.lefevre@cea.fr

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