Les M&NEMS du Leti bientôt à portée de marchés

Développer des MEMS coûte cher : chaque nouveau composant demande une filière de fabrication spécifique. C’est pourquoi le Leti a élaboré à partir de 2010 une filière générique baptisée M&NEMS. Elle pourrait accéder d’ici trois ans à des marchés de masse, grâce à une collaboration avec un grand acteur industriel.

Les M&NEMS doivent leur nom au fait qu’ils associent des parties de taille micronique et une nanojauge de 250 nm de section. Cette approche innovante permet de co-intégrer différents capteurs sur la même puce. Elle apporte des atouts différenciants selon les applications : faible niveau de bruit et insensibilité aux vibrations pour les gyromètres, linéarité et ultra-miniaturisation pour les capteurs de pression, large gamme de mesure pour les magnétomètres… Elle est protégée par quelque 25 brevets.

Contact : philippe.robert@cea.fr

Relire l’article de 2010 sur la filière générique MEMS : goo.gl/oJSWdi

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