Nanocomposants : fabriquer et caractériser en temps réel, c’est possible

A l’issue de plusieurs années de recherche, une équipe d’INAC est parvenue en collaboration avec le Léti et d’IRAMIS à coupler la réalisation de nanocomposants et leur caractérisation en temps réel par microscopie AFM. Le principe : utiliser un nanostencil (masque d’évaporation sur le principe du pochoir, utilisé pour le dépôt de métaux ou de molécules organiques sur un substrat) pour créer les composants et les imager grâce à une pointe AFM intégrée au masque mis en résonance par un quartz piézoélectrique. On peut alors fabriquer et imager toutes sortes de composants par évaporation sous vide, sans recourir à la lithographie conventionnelle. Le nanostencil piloté par Qplus-AFM, qui fait l’objet d’une publication dans Review of scientific instruments, reste encore un outil de recherche fondamentale.

Contact : benjamin.grevin@cea.fr

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