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nombre d'offres : 1

Accéléromètre nano-optomécanique sur silicium pour applications hautes performances

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Date de début : 1 juin 2020

Offre n° PsD-DRT-20-0035

Les capteurs inertiels (accéléromètres et gyromètres) sont au cœur d’un grand nombre d’applications grand public –et bas coût- comme les smartphones et les tablettes, mais aussi d’applications à plus haute valeur ajoutée et de plus hautes performances comme la navigation pour les véhicules autonomes, l’aéronautique ou le spatial. Les microsystèmes en silicium (MEMS) sont aujourd’hui une technologie très mature et plusieurs millions en sont vendus chaque année. Ils sont cependant aujourd’hui incapables de répondre à des applications hautes performances.

Le LETI est un des pionniers dans le développement de capteurs à transduction optomécanique « on-chip » : il s’agit de guider la lumière dans le silicium de manière similaire aux techniques photoniques, et de faire interagir cette lumière avec un objet en déplacement comme un résonateur mécanique ou une masse sismique. Ce déplacement module l’intensité de la lumière que l’on mesure, ce qui permet de déduire l’accélération de l’objet. Cette technologie a été développée dans les années 2000 en recherche fondamentale, et a notamment permis de réaliser les détecteurs d’ondes gravitationnelles. Le LETI développe cette technologie sur puce à l’échelle nanométrique, avec des sensibilités de déplacement plusieurs ordres de grandeur meilleures que les transductions électriques.

De premiers accéléromètres optomécaniques ont été conçus et fabriqués dans les salles blanches quasi-industrielles du LETI pour de tout premiers tests de caractérisation. Il s’agit ici de prendre en main ces dispositifs, de confirmer les premiers résultats optiques, et surtout d’évaluer leurs performances sous accélération : un banc de test est à réaliser pour ce faire. Il faudra ensuite faire un retour sur la modélisation et le design à partir des mesures afin d’assurer la compréhension de tous les phénomènes. Enfin, le post-doctorant devra proposer de nouveaux designs visant les hautes performances attendues.

  • Mots clés : Technological challenges, Cyber physical systems - sensors and actuators, DCOS, Leti
  • Laboratoire : DCOS / Leti
  • Code CEA : PsD-DRT-20-0035
  • Contact : sebastien.hentz@cea.fr
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