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nombre d'offres : 1

Actionneur MEMS piézoélectrique amplifié hydrauliquement

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Date de début : 1 septembre 2020

Offre n° SL-DRT-20-0488

Le principal objectif de la recherche sur les micro-actionneurs consiste à développer une architecture permettant l’obtention de grands déplacements et grandes forces, sur une large plage fréquentielle tout en minimisant la consommation électrique. A ce jour, aucune solution ne remplit tous ces critères. En effet les actionneurs hydrauliques ne répondent pas au critère de compacité et de fonctionnement en fréquence mais permettent des forces et des déplacements importants. De même, les actionneurs électromagnétiques répondent à une large gamme fréquentielle avec une force et un déplacement important, mais au prix d’un fort encombrement et d’une consommation importante. Enfin les actionneurs piézo-électriques présentent des déplacements limités, de l’ordre de la dizaine de micromètres, malgré l’atteinte des autres critères.

La rupture technologique de la thèse consistera à amplifier hydrauliquement ces déplacements limités, en appliquant de faibles déplacements sur une grande surface, pour déplacer un liquide, et générer, par conservation du volume, des déplacements importants sur une surface mobile plus faible.

Le sujet de la thèse consistera donc à développer et à intégrer dans un système MEMS (Micro Electro-Mechanical System), cette brique d’actionneur piézoélectrique amplifiée hydrauliquement (dit système HDAM pour « Hydraulic Displacement Amplification Mechanism ») et à l’optimiser.

  • Mots clés : Défis technologiques, Sciences pour l'ingénieur, Electronique et microélectronique - Optoélectronique, Systèmes cyberphysiques - capteurs et actionneurs, DCOS, Leti
  • Laboratoire : DCOS / Leti
  • Code CEA : SL-DRT-20-0488
  • Contact : laurent.mollard@cea.fr
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