PTA, une plate-forme pour la recherche amont

Avec la Plate-forme technologique amont ou PTA, inaugurée officiellement le 25 septembre, la FMNT et INAC disposent d’un outil parmi les plus performants du réseau des grandes centrales de technologie françaises. On y trouve en particulier une zone spécialisée dans l’élaboration des MEMS et NEMS et un pôle de nano-lithographie dont le fleuron est un masqueur électronique qui atteint des résolutions ultimes de 8 nm dans la résine. L’ensemble permet de pousser la miniaturisation des dispositifs à ses limites et d’intégrer les nanomatériaux élaborés au sein de MINATEC.

La PTA occupe une surface totale de 700 m2. Sa mise en place a été possible grâce à une mutualisation forte des moyens de l’INPG, du CEA, du CNRS et de l’UJF, et grâce au soutien du RTRA. Elle est ouverte à toute la communauté scientifique grenobloise.

Contacts : olivier.joubert@cea.fr

ou engin.molva@cea.fr

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