Actualités : Matériaux, physique du solide
18 septembre 2020
Développement de procédés de gravure plasma pour la fabrication de Nano-sources UV
Contexte : Les diodes électroluminescentes (LED) UV remplacent progressivement les lampes à mercure traditionnelles grâce à leur très faible consommation, leur longue durée de vie et leur grande compacité. Aujourd’hui, ces LED UV sont réalisées à partir de semi-conducteurs nitrures III-N (GaN, AlN et InN) crûs par épitaxie en couche minces pour réaliser des puits […] >>